产品种类: 容积
产地类别: 国产
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仪器简介:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数:
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范围 | 2~100%F.S. |
阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) |
准确度 | ±1.5%F.S. |
线性 | ±1%F.S. |
重复精度 | ±0.2%F.S. |
响应时间 | 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec |
工作温度范围 | 5~45℃ |
工作压差 | 0.1~0.5MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡胶、氯丁橡胶 |
电插头形式 | DB15 pin(Female) |
接头选择 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1.1Kg |
主要特点:
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7B型的更新换代型
★管状分流,使用寿命长
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