产品种类: 容积
产地类别: 国产
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仪器简介:
用 途:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
技术参数:
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~30SLM | |
控制范围 | 2~100%F.S. | |
阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) | |
准确度 | ≤10SLM | ±1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
线性 | ≤10SLM | ±0.5~1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | |
工作温度范围 | 5~ | |
工作压差 | ≤10SLM | 0.1~0.5MPa |
>10SLM | 0.1~0.3MPa | |
耐压 | 3MPa | |
漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/ | |
电插头形式 | DB15 pin(Male) | |
抗电磁干扰 | CE | |
重量 | 0.95Kg |
主要特点:
★高精度,快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头,国际标准机械接头
★国际兼容
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