ZYHD－2型冷等离子体表面改性处理仪
一、仪器介绍
ZYHD-2型冷等离子体材料改性设备为垂直或横卧式的冷等离子体处理设备，其工作原理同ZYHD-1型原理相同，均是利用放电
技术使气体电离产生等离子体，对材料表面
进行改性处理，ZYHD-2型冷等离子体改性设备
可供辉光放电等离子体接枝聚合等批量试验
及间歇式自加工小批量织物或无纺布，同样
在材料、化工、电子、印刷、纺织、制笔、医
疗、生物技术等领域有广泛的应用。
二、仪器的构成
ZYHD-2型冷等离子体改性设备的主要配置为:
1.真空反应室。
2.真空系统及真空测量设备。
3.充气系统及气体流量测量设备。
4.放电系统和射频电源。 5.设备电路控制系统。
三、仪器的规格及技术参数
1、仪器的主要规格：
体 积：长×宽×高为:53mm×56mm×175mm。 反 应 室: 直径:D500mm, 长度:500mm。 真空系统: 旋片式真空泵(2X－15型)。 真空测量: 热偶真空计(ZDO－2型)。 气体入口: 双通道转子流量计，量程为:0.04—0.4ML/min。
混 气 筒：35mm×35mm×120mm。
计时范围：0～99″99′。 RF射频电源: SY型, 13.56MHz, 0－1000W。
2、主要技术参数
真 空 度：≤5Pa。
射频电源：13.56MHz, 1000W。
工作真空度：15-80Pa。
四、仪器操作方法
1．关闭各气阀。 2．用高压橡胶管把气体瓶出口与设备气体入口连接起来。 3．夹紧橡胶管口夹圈。 4．打开灯丝开关橙色按钮，里面的指示灯亮，同时板压开关红色按钮里的指示灯也应该亮，预热5～10分钟。 5．将工件放入真空室后, 关闭真空室盖板。 6．启动两个真空泵按钮（绿色）。 7．按下热耦真空计开关, 测量真空度。同时观察真空计指针，真空度抽至所需值，慢慢旋开工作气体进气阀，进工作气体（氩气或氧气），注意观察真空计。
8．当工作气体气压稳定至所需值时，按下板压开关绿色按钮，里面的指示灯亮，缓缓调节板压，观察功率计，把功率调至真空室气体起辉，，然后反复调节匹配电容C1和C2，直至反射功率最小。（切忌反射功率太大，否则易损坏元器件）
9．在计时器上设定工作时间，按下计时器开关绿色按钮，计时器开始计
10．工作时间到，计时器报警。
11．逆时针调板压电位器旋钮到最低位置。按一下板压开关红色按钮关断板压，再按一下橙色按钮关断灯丝。（如果连续工作不必关闭灯丝按钮）
12．关闭工作气体进气阀。关闭真空泵。
13．打开真空放气阀，当真空室内处于大气压后，打开真空室盖。取出工件。关闭真空室盖。（如设备不再工作，必须抽真空到本底，保持真空室呈真空状态）
