微区高灵敏度X射线荧光光谱仪

一、核心技术

• 硬件核心技术：单色化聚焦激发技术

全聚焦双曲面弯晶仅衍射X射线管出射谱中高强特征X射线，将入射到样品的X射线单色化并聚焦到样品一点，因此从样品出射的X射线除了样品中的元素被激发产生的荧光X射线和单色化入射谱线的散射线外，不存在连续散射背景，从而保证待测元素特征线具有极低的背景干扰。

• 软件核心技术：全息基本参数法

XRF法面临的难题是基体效应、元素间吸收-增强效应、标准样品欠缺等问题，对于不同类型样品的定量分析带来挑战。

全息基本参数法（Holospec FP®）通过对X射线荧光光谱从产生到探测的各个环节进行计算，将物理学明确的物理现象建立相应的数学模型，基本参数法消除了由于不同类型样品基体差异所产生的背景差异，减少分析误差，通过少数标准品的校正即可得到元素精确定量分析结果。

二、特点

1. 微区
PHECDA-FVS最小聚焦到样品点尺寸φ200um，配置四个不同聚焦孔径光斑，软件控制切换，满足微区成像分析和主量与微量元素成分分析。并支持φ200um至φ5000um可定制，并可配置长方形平行光斑入射样品。
2. X-Y Stage
软件控制X-Y Stage载物台精密移动，移动范围±10mm，移动步长10um/step。
3. 成像
微型高清摄像头，垂直与样品平面的摄像光路，放大倍数10~100倍。软件调谐X射线光斑位置和聚焦成像位置一致。

4. 大样品室

较大尺寸样品或不规则样品，可以直接放入样品室，通过摄像头定位，样品室尺寸为280mm（长）*230mm（宽）*70mm（高）。
5. Holospec FP

PHECDA-FVS与Holospec FP的无缝链接，实现镀层、涂层、叠层厚度与成分分析，元素无标定量分析。

三、规格

详细技术参数与应用方案请咨询安科慧生工作人员。

四、应用

微区高灵敏度X射线荧光光谱仪PHECDA-FVS与全息基本参数法Holospec FP提供行业解决方案（示例）：