产地类别: 国产
测量原理: 电感式
测量范围: 10nm-80μm
探针尖半径: 2μm,1μm
探针作用力: 0.5-50mg
扫描长度: 55mm
台阶高度重复性: <0.5nm
垂直方向分辨率: 0.05nm满量程
测量样品最大尺寸: 150mm
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泽攸科技台阶仪JS2000B
产品介绍
泽攸科技全自动台阶仪JS2000B,拥有高精度、高分解能力,搭配一体花岗岩结构,能提供稳定可靠的重复性测量。JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
各式薄膜等应力测量
3D扫描成像
计划任务和多点扫描
批量测试晶圆,批量处理数据等
应用领域
产品组成
突破三大核心技术
产品特色
关键技术指标
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
维修响应时间: 2天内
是否支持上门巡检: 是
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台阶仪 JS2000B的使用方法?
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