光耦合qPlus型扫描探针显微镜系统
光耦合qPlus型扫描探针显微镜系统

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中科艾科米

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HF-SPM-C

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中国大陆

核心参数

主要特点  / MAIN FEATURE


● 两种低温获得方式可供选择:湿式杜瓦、闭循环无液氦

● 独特性设计的扫描头,大幅提升光激发与光收集效率,有效避免激光聚焦光斑的微抖动问题

● qPlus传感器具有极低的背底振幅噪音(~2 pm)和优异的品质因数(最高100000)

● 可SPM腔内原位沉积

● 制备腔配液氦型多轴样品台,可用于低温沉积

 

测试数据  /  TEST DATA


 

技术参数  / TECHNICAL DATA


工作温度 闭循环无液氦 <4K (不打开光口)
湿式杜瓦 <5K (不打开光口)
X/Y/Z粗移动范围 4×4×8 mm
X/Y/Z扫描范围 ≥4×4×1 μm@±220 V RT
≥1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT
分辨率 XY方向-0.1 nm, Z方向-0.1 nm
温度漂移 Z方向温度漂移≤100 pm/h@LT
XY方向温度漂移≤200 pm/h@LT
STM性能 Z方向振动<2 pm
成像最小隧穿电流≤2 pA (外置前置放大器)
HOPG/Au(111)原子级图像
AFM性能 Si(111)/NaCl(100)图像
振幅<10 pm
灵敏度优于350fN/Hzl/2
光学 非球面透镜(1个/2个)
数值孔径0.38
移动行程3X3X3 mm

 

系统尺寸  / DIMENSIONS


 

 

 

● SPM系统: 2.3X2.1㎡
● SPM机柜: 1.1X0.65㎡ (单个机柜)
● 氦闭循环液化系统:
   液化装置: 0.9X0.65㎡
   压缩机: 0.5X0.5㎡
● 分体式水冷机:
   室内机:约1X1㎡
   室外机:约1.5X1㎡

 


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费终身远程培训

免费仪器保养: 与用户协商

保内维修承诺: 一旦接到用户任何故障报告,我公司工程师在工作时间内可以做到5个工作日到达用户现场

报修承诺: 收到用户信息后24小时内响应,供应商应派技术人员到现场维修,并在3个工作日内排除

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