Dhyana 9KTDI Pro 高速TDI-sCMOS相机
Dhyana 9KTDI Pro 高速TDI-sCMOS相机

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鑫图

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Dhyana 9KTDI Pro

--

中国大陆

  • 银牌
  • 第14年
  • 生产商
  • 营业执照已审核
核心参数

产品介绍


Dhyana 9KTDI Pro(简称:D 9KTDI Pro)背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术,采用可靠稳定的制冷封装技术,覆盖从180 nm 紫外到1100 nm 近红外宽光谱,有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力,旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。


180nm-1100nm 宽光谱


Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技术,已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外(193nm/266nm/355nm等波段)、可见光、近红外等弱光成像信噪比,提高设备检测精度。


180nm-1100nm 宽光谱.png


600 kHz @ 9K 超高速线扫


Dhyana 9KTDI Pro 配备CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口,其传输效率相当于背照式 CCD-TDI 相机的54倍,显著提升设备的检测效率。Dhyana 9KTDI Pro的相机行频最高可达 9K @ 600 kHz,为行业提供快速的多级TDI线扫描解决方案。

600 kHz @ 9K 超高速线扫.png


先进制冷降噪技术


相机高速运行时产生的大量热量,不仅会影响成像质量,还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术,确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态,降低设备误检率。


先进制冷降噪技术.png

 



技术参数


型号 Dhyana 9KTDI Pro
传感器类型BSI sCMOS TDI
传感器型号Gpixel GLT5009BSI
量子效率82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm
彩色 / 黑白黑白
对角线尺寸45.4 mm
有效面积45.36 mm x 1.28 mm
分辨率9072 ( H ) x 256 ( V )
像素尺寸5 µm x 5 µm
操作模式TDI, Area
TDI 级数4,8,12,32,64,96,128,160,192,224,240,248,252,256
扫描方向正向,反向,触发控制
电荷转移效率≥ 0.99993
位深12 bit, 10 bit, 8 bit
满阱容量典型值:14 ke- @ 10 bit,15.5 ke- @ 12 bit
动态范围典型值:68.7 dB @ 12 bit,63.6 dB @ 10 bit
最大线速300 kHZ @ 12 bit, 600 kHZ @ 10 bit, 600 kHZ @ 8 bit
读出噪声7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
暗信号不均匀性典型值:1.5 e- @ 12 bit,3.5 e- @ 10 bit
光响应不均匀性典型值:0.30 %
制冷方式风冷,水冷,制冷速度 5 ℃ / min
制冷温度低于环境温度 35 ℃(水冷)
Binning1 × 1, 2 x 1, 4 x 1, 8 x 1
ROI支持
触发模式触发输入, 扫描方向输入
触发输出信号Strobe out
触发接口Hirose, HR10A-7R-4S
时间戳精度8 ns
增益模拟增益:x2 ~ x8, 步进 0.5,数字增益:x0.5 ~ x10, 步进 1
数据接口CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
光学接口M72 / 用户定制
电源12 V / 8 A
功耗< 75 W
相机尺寸100 mm x 100 mm x 145 mm
重量1800 g
软件SamplePro
SDKC,C++,C#,Python
操作系统Windows,Linux

操作环境

工作: 温度 0~40 °C,湿度 0~85%;储存: 温度 0~60 °C,湿度 0~90





售后服务承诺

保修期: 2年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 需提前预约

免费仪器保养: 参考仪器保养说明

保内维修承诺: 非人为损坏提供2年免费质保服务

报修承诺: 联系专业人员,获得相机技术支持服务

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