看了等离子体刻蚀设备的用户又看了
基本配置 | W600mm×D800mm×H1700mm（含富马伦，不含报警灯） |
气体配置 | 质量流量计2气路 （可选装多路气体） |
真空计 | 皮拉尼真空计 |
外部连接 | AC380V或AC200V/16A，6mm处理气体接口，10mm排气接口 |
真空舱体 | 优质不锈钢方型W390 mm×D400 mm×H400mm |
托盘 | 不锈钢托盘W 340 mm×D 340 mm×H 1mm（1-4层） |
电极 | 高效一对一网状电极 |
控制系统 | 上位触摸屏+下位PLC |
射频发生器 | 13．56MHz射频发生器 600W |
真空泵 | 莱宝油泵 D30C （30m3/h）或选配无油干泵 |
产品货期: 7天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
