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MOBILITY TESTER
EMEF全自动电阻率\迁移率测试仪
产品描述
EFEM（半导体设备前置模块）从属于半导体生产设备，其内部主要由晶圆装载模块、空气过滤器FFU、
晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆读码装置、自动化控制模块等组成。其中晶圆装系统(Loadport)、晶
圆运输机器人(Robot)、晶圆对准装置(Aligner)和晶圆读码装置(OCR)是最核心的四大部件。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 3人次培训
免费仪器保养: 6个月1次
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 4小时相应
