Agilent8890PDD电子特气分析氦离子化气相色谱仪

项目：电子特气分析整体解决方案

产品名称：Agilent-8890PDD氦离子化气相色谱仪分析系统

仪器分析目标：硅烷电子特气杂质检测

电子级超纯硅烷产品：(＞99.9995%)

检测项目：杂质组份分析

H2、O2/Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、SiHnCln 、SinHn、C2H6、C3H8、C4H10等

检测器: 配置双脉冲氦离子检测器Agilent-8890 PDHID

系统依据的相关标准:

GB/T 28726-2012《气体分析 氦离子化气相色谱法》

JJG700-2016《气相色谱仪计量检定规程》

GBT 15909-2017 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

Agilent-8890/PDD氦离子气相色谱仪

此图作参考

柱温箱

温度范围：室温以上40℃-450℃

温度设定：温度1℃；程序设定升温速率0.1℃

升温速度：0.1℃/min~120℃/min

温度稳定性；当环境温度变化1℃时，优于0.01℃

程序升温：20阶21平台

最大运行时间：999.99分钟

降温速率：从450℃降至50℃不多于6分钟(22℃室温下)

数据处理系统：全中文工作站

参数输入：仪器控制参数，数据采集及计算处理参数的设定；

报告：内置多种报告格式，可自动生成系统适应性报告、峰纯度报告、光谱检索报告等；用户也可编辑个性化的报告模板；

在线帮助及教程：每个对话框，均有在线帮助，提示用户设定适合的参数；内置30余套培训教程以供用户自主学习工作站操作；

在线诊断：内置多项对各组件的自动测试程序，用户可根据仪器使用情况，随时检查仪器性能；内置多种色谱常见问题及其解决方案；

早期维护预警：提供消耗元件累计使用情况，以便及时进行系统预防性维护；

电子日志：实时记录仪器使用操作情况，随时查阅仪器状态。

仪器检测限

仪器主要应用于气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表：

仪器的检测性能：

硅烷样气--取样与吹扫系统

在线分析: 用户自己配套工程在线取样气管道

仪器的工作环境要求

Agilent8890/PDD气相色谱仪应放在宽敞、干燥、空气流通的室内。最好是在人们感到舒适的环境下使用（适当的恒温、恒湿条件）。这样，仪器才能发挥最佳的性能，仪器的使用寿命也最长。

室内温度：5～35℃  ； 相对湿度：0～85%

若将仪器暴露在腐蚀性物质（不管是气体、液体还是固体)中，就会危及Agilent 8890/PDD气相色谱仪材料和零部件，所以应避免。

气源室：

气源室周围不能有火源、电火花、电线、热源，易燃易爆和腐蚀性物质存在。以免发生意外。

气源室的温度最好在10～35℃，防止气体压力变化过大引起爆炸和其他事故。

高压钢瓶应竖立放置，应牢牢固定在不能移动的建筑物或靠架上。不能放在柱箱热气排放的通道上。

供气管线采用经严格清洗的不锈钢导管