高纯硅烷杂质分析氦离子专用色谱仪
高纯硅烷杂质分析氦离子专用色谱仪

¥20万 - 30万

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克柔姆

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GC-126PDD/SiH4

--

中国大陆

  • 银牌
  • 第14年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数

适用领域: 高纯气体分析专用

    













-----克柔姆网站 
 

  • 仪器的应用范围:

1.本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析,具体内容详见下表:



气体种类 需分析的杂质种类
He H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn
仪器的最小
检测限(PPb)
15 30 10 50 10 10 30 30 50
 

二.系统依据的相关标准:
 
1、电子气标准
GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》

2.仪器的详细配置(供货明细):
仪器名称
型号规格
厂家 单位 数量 备注
氦离子化气相色谱仪GC-126PDD 上分厂/
克柔姆
1 配备PDHID氦离子化检测器
 
多柱箱系统
 
上分厂/
克柔姆
 
 
1
可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度,以满足样品分离的需要
 
中心切割与
反吹系统:
吹扫十通阀2只;
吹扫六通阀3只.
 
 
VALCO
 
 
 
 
1
配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀:一次进样,无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。
专用毛细管色谱分离系统 VALCO 1 用于分离硅烷中的微量:
甲硅醚;甲基硅烷;乙硅烷
色谱柱:
Hayesep -Q
Hayesep -DB
5A;硅烷毛细管柱
 
VALCO
 
 
6
1.可分离样品中的H2、O2
(Ar)、N2、CO、CO2、CH4等杂质
2.CO拖尾处理技术
硅烷取样系统 克柔姆 1 专为高纯硅烷色谱分析设计
含吹扫气路与取样气路。
载气(He)纯化器:
HP-2
VALCO 1 He中杂质含量≤10ppb
载气过滤器 VALCO 1 2μm孔径
样品过滤器 VALCO 1 2μm孔径
标准气体:
(10PPM)
克柔姆 1 含: H2, O2, Ar, N2,
CO, CH4, CO2
高纯氦气:40L 用户自备 1+1 纯度不低于99.999%
高纯氮气:40L 用户自备 1 作为VALCO吹扫阀的保护及驱动气使用
无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口 克柔姆 4 取样时防止空气渗入,带放空结构设计
载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口 HORO 2 配:进口
载气四通切换阀 1/16”口 1 配:进口
高纯气专用
色谱工作站
克柔姆 1 自动控制切割、反吹、进样等过程;并实现对色谱主机的操作控制
电脑与打印机 联想/HP 1 可另选配
安装调试费:免费
技术服务及培训费:免费(1.发货前;2.安装调试中;3.公司定期办培训班时.)
随机备品、备件、工具、材料费(附件四):随机
 
 
硅烷色谱图谱
  

有机杂质图谱
  
典型用户
用户单位 采购时间
浙江赛林硅业有限公司 2012-07-20
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