TFT涂胶机

  超大尺寸匀胶设备 M+/1500-Ｃ，主要用于完成基片光阻涂布工艺。TFT涂胶机可分别配置主轴旋转装置、 光阻供液系统（腔体清洗液）、排风系统、上料装置、控制部份等；设备具有如下特点： 占地面积相对较小，适应范围广。 具备故障诊断，历史记录追忆功能。 操作界面简捷，配方编制、储存、编辑、调用灵活。 整机采用框架结构，工作方式为手动上下基片，自动完成边缘清洗工艺。广泛服务于MEMS、OLED、光通信、SAW、先进封装、科研等领域。依GB/T19001-2008 ；GB/T24001-2004；GB/T28001-2001；SEMI SⅡ标准制造。TFT涂胶机货源充足可根据要求定制，性价比高、实用性强的实验室匀胶显影设备。产品结构稳定，外形符合美学设计，产品质量有保障且性能稳定。控制系统为集散式控制系统，采用触摸屏，动态画面人机交互，可显示设备运行过程中各工艺功能执行情况；工艺参数数字化检测控制，分等级、严重紧急情况、超限报警；自由编制、修改、编辑、储存、调用工艺程序；操作简便，故障提示，维修便利。

  涂胶机出胶均匀，可提高效率，涂胶范围可定制。TFT涂胶机是一种采用了机电一体化系统技术的机械设备，主要用于自动涂覆特定的胶黏剂。工作原理是通过气压控制胶的流量和喷射速度，通过喷头均匀地涂在晶圆或硅片表面。采用气压或者电动方式来控制不同类型光刻胶的流量和喷射速度，同时使用高精度的传感器和控制系统确保涂胶准确性和均匀性。TFT喷雾式涂胶机效率高、精度高、多功能性、环保节能安全可靠。涂胶机性能稳定、维护成本低且有着操作便捷性。