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SemiChem APMi 200 在线浓度监测仪
SemiChem APMi 200 在线浓度监测仪/自动电位滴定仪是设计和生产用于半导体制造工艺中的化学机械平坦化（CMP）浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性，并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。 我们的 SemiChem Advanced Process Monitor （APM）是集自动取样、分析和报告关键过程的定 量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监 测可实时校正浆料成分，从而稳定控制工艺生产 条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即 显现时，可以快速纠正可能对产品质量产生负面 影响的变化，有助于满足更高产品产量的要求。
应用领域
在全球范围内，我们安装了近3000套SemiChem APM系统，用于控制金属 CMP 浓度。它是 控制CMP过氧化物的可靠的中心工具，并被证明 在微电子环境中的所有湿化学应用中都具有卓 越的性能，包括：
·铜，钨，阻挡层和金属CMP ·制定清洁 ·DSP+ ·湿法蚀刻，氮化物蚀刻 ·平底蚀刻，食人鱼蚀刻 ·高频 ·废水
功能与特点
经验证的标准电化学技术：提供行业精确的监控，以保 证过程化学成分和完整性；提供一流的化学浓度数据， 使浆料/化学分配系统能够 提供准确的化学浓度
在线的，接近实时检测的系统：检测挥发性化学物质的工艺偏差，防止产品质量损坏；将实验室技术过渡到在线， 实现快速准确的在线控制
坚固耐用的工业设计：维持至少8500小时平均无故障工作时间；可经受严峻的工业环境
规格
| 分析方法 | 电位测定法，标准加成法，光度测定法 |
| 电位测量的准确性* | 显示值的±0.2% |
| 标准添加的准确性* | 显示值的±2.0% |
| 电位测量精度* | ±0.2%相对误差 |
| 标准添加精度* | ±2.0%相对误差 |
| 测量时间 | >5分钟/次（取决于应用程序） |
| 校准间隔 | 启动时** |
| 样品消耗 | <5 mL/次 |
| 进样量 | 0.05-5 mL（取决于应用） |
| 进样温度 | 最高93°C（200°F） |
| 耗水量 | <1000 mL/分析 |
| 样品进样/排样 | <207 kPa（30 psi），0.5 L/min |
| 1/4" OD扩口接头，1" FPT安全壳联轴器 | |
| 去离子水 | 138至276 kPa（20至40 psi） |
| 2.0升/分钟 | |
| 外径 1/4" 扩口接头 | |
| CDA | 414-552 kPa（60-80 psi） |
| 1/4" 外径快速接头 | |
| 排水 | 工艺：3/4“NPT重力排水管 机柜：1/2“NPT重力 |
| 电源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A现场可切换 |
| 废气 | 外径1 7/8" @ 17 CFM |
| 标准功能 | 可选功能 |
| ·四个4-20 mA模拟输出 | ·多个采样点 |
| ·八个可编程继电器 | ·额外的5 mL数字滴定管 |
| ·以太网和RS232串行 | ·附加传感器 |
| ·彩色触摸屏 | ·安全联锁装置 |
| ·单个测量单元 | ·试剂微量检测 |
| ·综合试剂储存 | |
| ·单个采样点 | |
| ·一个5 mL数字滴定管 | |
| ·多传感器输入 |
尺寸
半导体 2023-12-07
半导体 2023-12-07
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| entegris | 2022-04-27 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 不限人数上门培训一次
免费仪器保养: 有
保内维修承诺: 免费更换零配件
报修承诺: 48小时到达现场
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