光源种类： 其它光源
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来自荷兰 ISTEQ 的 TEUS，LPP EUV 光源基于快速旋转液态金属靶，这种新型 LPP 光源结合了传统的碎片抑制技术，是清洁极紫外光源的绝佳解决方案。
型号 | EUV收集角（sr） | 激光平均功率（W） | 脉宽（ns） | 重频（kHz） | 等离子体尺寸（μm） | 亮度（W/mm2sr） | EUV功率（mW） |
TEUS-S100 | 0.05 | 100 | 1.5 | 25 | 60 | 110 | 5 |
TEUS-S200 | 200 | 50 | 220 | 10 | |||
TEUS-S400 | 400 | 100 | 450 | 20 |
特征优势
高速旋转液态靶，提供了：
多种碎屑抑制技术共同作用，提高收集器镜片预期寿命
连续工作时间长，维护间隔长耗时短，自动化程度高的交钥匙工程
典型应用
掩膜及表面检测
图形化掩膜检测
掩膜空间像检测
材料科学
晶圆检测
极紫外扫描光刻工艺链中的极紫外光学器件检测
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 不限人次交货时现场培训
免费仪器保养: 质保期内免费保养
保内维修承诺: 质量保证期内提供保修（人为破坏因素、遇不可抗力或使用不当除外）
报修承诺: 24小时内做出响应，提出解决方案，如有必要，48小时内上门
ISTEQ光源TEUS-S的工作原理介绍
光源TEUS-S的使用方法?
ISTEQTEUS-S多少钱一台?
光源TEUS-S可以检测什么？
光源TEUS-S使用的注意事项？
ISTEQTEUS-S的说明书有吗？
ISTEQ光源TEUS-S的操作规程有吗？
ISTEQ光源TEUS-S报价含票含运吗？
ISTEQTEUS-S有现货吗？
