扫描电镜
典型应用:
纳米表征
• 金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料
• 陶瓷, 复合材料, 塑料
• 薄膜/涂层
• 地质样品断面, 矿物
• 软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材
• 颗粒, 多孔材料, 纤维
原位过程分析
• 增湿/去湿
• 浸润行为/接触角分析
• 氧化/腐蚀
• 拉伸 (伴随加热或冷却)
• 结晶/相变
纳米原型制备
• 电子束曝光 (EBL)
• 电子束诱导沉积(EBID)
主要参数
电子光学
• 高性能电子光学镜筒，双阳热发射电子枪
• 固定式物镜光阑，使用方便
• 45°锥度物镜靴，及“穿过透镜”的压差真空系统
• 加速电压: 200 V - 30 kV
• 束流:zui大2 μA并连续可调
• 放大倍数: 6 x – 1,000,000 x
分辨率
• 高真空
–– 30 kV下3.0 nm (SE) –– 30 kV下4.0 nm (BSE) * –– 3 kV下8.0 nm (SE)
• 高真空下减速模式*
–– 3 kV下 7.0 nm *
• 低真空
–– 30 kV下3.0 nm (SE) –– 30 kV下 4.0 nm (BSE) –– 3 kV下10 nm (SE)
• 环境真空 (ESEM)
–– 30 kV下3.0 nm (SE)
检测器
• E-T二次电子探头
• 大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)
• 气体二次电子探头 (GSED)
• 样品室红外CCD相机
• 高灵敏度、低电压固体背散射探头*
• 气体背散射探头*
• 四分固体背散射探头*
• 闪烁体型背散射探头/CLD*
• vCD (低电压高衬度探头)*
• 电子束流检测器*
• 分析型气体背散射探头 (GAD)*
• Nav-Cam™ – 光学相机彩色成像，用于样品导航*
• 阴荧光探测器*
• 能谱*
• 波谱*
• EBSD*
真空系统
• 1个 250 l/s 涡轮分子泵, 1个机械泵
• 的“穿过透镜”的压差真空系统
• 电子束在气体区域的行程：10 mm或2 mm
• 可升级成无油机械泵
• 样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa
• 样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa
• 样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 2600 Pa
• 典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒；低真空及环境真空模式 ≤ 270秒(FEI标准测试程序)
样品室
• 左右内径284 mm
• 10 mm分析工作距离
• 8个探测器 / 附件接口
• EDS采集角: 35°
样品台
• X/Y = 50 mm
• Z = 50 mm (其中马达驱动25 mm)
• 手动倾斜：- 15° to + 75°
• 连续旋转360°
• 重复精度: 2 μm (X/Y方向)
• 全对中样品台
Product Data Quanta™ 250
样品座
• 多样品座
• 单样品座
• 适用于硅片或其它特殊要求的样品座*
系统控制
• 基于Windows® 7 操作系统的32位图形用户界面，键盘，光电鼠标
• 1个/2个* 24寸液晶显示器,分辨率1920 x 1200
• 软件驱动的输入/输出共享器*
• 游戏操纵杆*
• 多功能控制板*
图像处理器
• zui大6144 x 4096像素
• 图像文件格式：TIFF (8/16/24bit ), BMP or JPEG
• 单窗口或四窗口图像显示
• 四活动窗口
• 实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合
• 256 帧平均或积分
• 数字动画记录 (.avi格式)
• 直方图及图像测量软件
支持软件
• SmartSCAN™ 智能扫描技术
• 蒙太奇图像导航
• 软件温度控制
• FEI动画生成工具
系统选项
• 减速模式
• 多功能控制板
• 支持计算机 (包括第二个24寸液晶显示器)
• 软件控制的Peltier冷台
• 软件控制的WetSTEM™
• 软件控制的1000 °C热台
• 软件控制的1500 °C热台
• 游戏操纵杆
• 样品电流探测
• 远程控制
• 视频打印机
• 样品座套件
• 机械泵隔音罩
• 7针或52针电气接口
• 静电电子束束闸
• 波谱仪接口
• 更换成无油机械泵套件
• 辅助气体接口 (采用非水气体)
通用第三方附件
• 能谱仪
• 波谱仪
• EBSD
• 冷台
• 阴荧光谱仪
• 样品电流探测器
• 纳米机械手
• CAD导航
• 电子探针台
软件选项
• 远程控制/观察软件
• 图像分析软件
• 基于Web的数据库软件
• 高度分布/粗糙度测量软件
支持文档
• 在线帮助
• 入门培训CD
• RAPID™ (远程诊断软件)
• 连接到FEI用户群在线资源库
• 加入FEI环境扫描用户俱乐部
安装要求
(更多的数据请参考“预安装手册”)
• 电源: 电压 230 V (+ 6 %, - 10 %), 频率 50 or 60 Hz (+/- 1 %)
• 耗电量: 电镜基本系统< 3.0 kVA
• 接地: < 0.1 Ω(欧洲标准)
• 场地环境: 工作温度 15 °C - 25 °C；相对湿度 < 80 % (无冷凝)；残余交流磁场
< 100 nT(非同步频率，水平X/Y方向),
< 300 nT (同步频率，水平X/Y方向)
• 门宽: 90 cm
• 重量: 主机重量约450 kg
• 干燥氮气(推荐使用): 0.7 - 0.8 bar,
放气时zui大流速 10 l/min
• 噪音: < 68 dBC (需场地测试确定)
• 振动 (需场地测试确定)
• 减振台可选
节能措施
• Energy Star认证的显示器和工作站
• 无需冷却水和空压机
