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产品型号：ei-501
本设备是用于在半导体或特种材料基板上进行金属、ITO等材料蒸镀的批处理式高真空蒸发镀膜设备。可通过触摸屏进行集中操作控制，自动完成从真空排气至镀膜的所有过程。适用于半导体、LED、电力电子等行业芯片的科研及小批量生产。
※产品优点 ※产品用途
◆占地面积小 ◆Power device
◆易操作&易管理 ◆LED，LD行业
◆高生产量 ◆研究开发
◆设备构造简洁，便于安装维护 ◆电力电子行业
※产品特征
◆可以搭载多种蒸发源(EB，RH、EB+RH等)
◆可以搭载多种夹具，对应不同工艺(lift-off, planetary,satellite 等).
◆可以搭载多种基板;基板尺寸从2寸到6寸，基板材料为硅，玻璃
◆等可以通过LCD 触摸屏进行操作
◆PC控制系统以及各种功能(工艺参数，记录数据，维护保养)
※内部结构
※产品配置
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 安装时提供免费的现场培训服务
免费仪器保养: 依据具体情况和设备而定
保内维修承诺: 提供免费的工程师上门服务
报修承诺: 2小时内相应，24小时内到达现场
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