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特点:
• 用于高灵敏度电子束曝光、混合曝光等
• 感光波段:e-beam、deep UV(248 nm)
• 紫外曝光波段:
负胶:248nm~265nm & 290nm~330nm
• 化学放大胶,高灵敏度
• 良好的耐干法刻蚀能力
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费安装培训
免费仪器保养: 质保期内免费仪器保养
保内维修承诺: 质保期内免费非人为损坏免费维修
报修承诺: 24小时内到达现场并维修
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