仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
定位检测噪声： 0.02nm RMS
样品尺寸： 直径≤200mm(可选300mm)
样品台移动范围： 200mm*200mm (可选300mm*300mm)
为您推荐相似的扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）
特点：
◆介质和基底的表面粗糙度测量
◆缺陷成像和分析
◆高分辨率电子扫描模式
◆3D结构边墙测量
◆精确的原子力显微镜形貌和低噪音Z探测器
规格参数：
| 型号 | Park NX20 | |
| 扫描仪 | XY扫描仪 | 100um*100um(可选10um*10um或50um*50um) |
| Z扫描仪 | 15um(可选30um) | |
| 形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm） | |
| 光学 | 物镜 | 10X（20X可选） |
| 电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
| DAC | 12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
| 样品台 | XY平台行程 | 150mm x 150mm；200mm X 200mm |
| Z平台行程 | 25mm | |
| 聚焦平台行程 | 15mm | |
| 样品尺寸 | 高达150mm或直径200mm最多厚20mm | |
| 物理信息 | 外形尺寸 | 820mm（长）X920mm（宽）X1280mm（高） |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 依合约
免费仪器保养: 依合约
保内维修承诺: 保修期内质量问题免费维修（除人为操作不当及不可抗因素）
报修承诺: 24H响应
