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高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台,它的诸多设计都是专用的。因此,高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场值,均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等,均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联;位移台还可与磁流体密封搭配,实现水平方向二维移动和样品台360度转动;除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户,可以磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
探针台配备4个(6个、8个)拥有高精度位移的探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等,广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试,微电子机械系统,超导电性测试,纳米电路的光电属性,量子点和线,高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等
t 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
t CCD或C-MOS视频成像装置
t Chuck运动装置
t 电磁铁系统/超导磁铁系统
t 1Mpa正压系统升级
t 超高温升级选件
t 超高真空升级选件
t 各类探针夹具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 转接头
t 静音真空泵
高低温真空磁场探针台 | |||
型号 | T8-LY100 | T8-LY130 | T8-LY180 |
真空度 | 至高真空10-8Pa | ||
腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | ||
磁场范围 | 2000Gs @50mm | 5000Gs@50mm | 1T@50mm |
磁场方向 | 水平(可按用户要求设计成竖直方向的) | ||
电源 | 双极性电源±50A | 双极性电源±70A | 双极性电源±90A |
电源稳定性 | 50ppm可选10ppm | ||
制冷方式 | 液氦/液氮制冷/闭循环制冷机 | ||
温度范围 | 5K-325K可选500K | ||
温度范围 | 65K-325K可选600K | ||
控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | ||
温度稳定性 | 优于0.1K依赖于控温仪 | ||
温度传感器 | 硅二极管/PT100/cernox | ||
传感器数量 | 样品台、防辐射屏、探针臂各一个 | ||
样品台尺寸(max) | Φ50mm,平整度≤7μm | ||
样品台固定方式 | 真空硅脂/弹簧压片 | ||
样品台材质 | 镀金无氧铜 | ||
显微镜行程 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm | ||
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | ||
真空腔观察窗尺寸 | 1inch | 1.5inch | 2inch |
窗口材料 | 熔融石英(可选K9、氟化钙等) | ||
探针臂数量 | 2、4、6、8可选 | ||
探针臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更换 | ||
机械精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm | ||
接口形式 | 普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等 | ||
探针直径 | 0.51mm | ||
针尖直径 | 10μm/5μm/1μm可选 | ||
探针材料 | 钨/GGB | ||
供电电压 | AC220V 50Hz/60Hz | AC380V 50Hz/60Hz |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费提供技术支持及培训
免费仪器保养: 1年
保内维修承诺: 一年免费维修质保
报修承诺: 24小时之内解决客户问题
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