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专注于物理、化学和材料等领域的科学仪器研发、制造、销售、服务为一体的综合型高科技企业。为广大科研工作者提供磁性、低温、高温、真空、的实验环境。
自2011年成立至今,已研发出各种类型的电磁铁、液氮型低温恒温器、液氦型超低温恒温器、制冷机系统集成、高温真空磁场退火炉系统、Helmholtz线圈全套解决方案、高稳定性双极性电源、霍尔测量系统、电输运测量系统、磁光克尔测试系统、高低温磁场真空探针台测试系统等,并可根据用户需求,定制出各种类型的实验产品。
这些产品可以用于很多领域,包括半导体,微机电系统,超导体,电子学,铁电体,材料学,物理学和光学等。低温探针可用于桌面或独立系统,包括一个使用液氦或液氮(温度范围从低于4K到475K,可选600K)的超高效率连续流系统,且提供不对样品造成任何振动的快速冷却法。探测设备使用典型的单系统四探针法(也支持双探针,六探针或八探针)测量直流脉冲,低频率信号或微波信号或同时使用两种信号。我们制造的每套系统都采用标准的品质工艺。所生产的产品已经成为您所有的对于标准和定制低温系统的需求的很佳选择。
※至大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,至小的单颗芯片尺寸?
※探针台机械精度要求多高?
※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?
※至需要几个探针同时去点测?
※是否会用到探针卡测试?
※光学显微镜的至小分辨率需要用到多少?
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
※探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?低
电容要求是否要做到0.1pf?是否有射频需求?
※接驳的测试仪器接口有哪些?
※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有压缩空气?
可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~500K),可升级加载磁场,低温防辐射屏设计,样品台采用高纯度无氧铜制作,温度均匀性更好,温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置,支持光纤光谱特性测试,兼容高倍率金相显微镜,可微调移动,器件的高频特性(支持至高67GHz频率),探针热沉设计,LD/LED/PD的光强/波长测试,自动流量控制,材料/器件的IV/CV特性测试等。
高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。
t 防震桌
t 多级压缩制冷机
t 机械泵/分子泵组/离子泵
t 射频部件
t 各类型频率真空接头
t 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
t 各类探针夹具
t Chuck运动装置
t 电磁铁系统/超导磁铁系统
t 1Mpa正压系统
t 超高温升级选件
t 超高真空升级选件
型号 | T81-50探针台 | T80-50探针台 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | |
真空度 | 至高真空10-8Pa | |
真空腔观察窗尺寸 | 2inch(可选) | |
控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | |
温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 | |
降温时间 | 40min | 150min内,视制冷机功率定 |
温度传感器 | 硅二极管、PT100(3个,样品台和探针臂和防辐射屏上各一个) | |
加热电源 | LVDC 低压直流 | |
样品台材质 | 镀金无氧铜 | |
样品台尺寸 | 直径20-50mm,可选100mm | |
样品台平整度 | ≤7μm | |
样品台固定方式 | 固定的样品台(可升级随位移台移动) | |
样品台振动级别 | ≤50纳米 | ≤1μm(三级减震) |
探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 | |
探针臂机械精度 | ±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm(可选) | |
探针种类 | 钨、铍铜、微波探针(可选高达67GHz的GSG探针) | |
探针调节 | 真空波纹管外部调节,手动控制 | |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |
显微镜行程 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm | |
电力需求 | 220V 50-60Hz |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费提供技术支持及培训
免费仪器保养: 1年
保内维修承诺: 一年免费维修质保
报修承诺: 24小时之内解决客户问题
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