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晶圆薄膜应力测试仪
主要特点：
l 快速、非接触式测量；
l 样品台可通用于3至8寸晶圆，128L型号适用于12寸晶圆，128G 型号适用于470 X 370mm样品，另可按要求订做；
l 利双激光自动转换技术：如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用；
l 全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄（可选)；
l 可加入更多功能满足研发的需求：电介质厚度测量，光致发光激振光谱分析（III-V族的缺陷研究）；
l 500 及 900°C高温型号可选；
l 样品上有图案亦适用；
l 薄膜应力范围: 1 MPa — 1.4 GPa。
晶圆薄膜应力测试仪
室温系统 | FSM 128 | 大样品直径200mm |
FSM 128L | 大样品直径300mm | |
FSM 128G | 大样品550×650mm | |
变温系 | FSM 500TC | 电阻加热工作台：温度可控，高500℃ |
FSM 900TC-vac | RTP型腔室：温度可控，高900℃（可选1100℃）；真空达到 1E-6 Torr |
武汉赛斯特精密仪器有限公司是武汉市专业研发，以力学试验机仪器为主，同时销售各种、中低端分析仪器。现有员工60多人，公司成功开发了PCI放大采集卡和中文版试验软件，并采用全数字化，操作简捷，完全符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等标准、国家标准、行业标准的要求，公司亦通过了ISO9001质量体系认证和国家计量体系认证，荣获了“武汉市第九界消费者满意单位”的称号。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费提供技术支持及培训
免费仪器保养: 1年
保内维修承诺: 一年免费维修质保
报修承诺: 24小时之内解决客户问题
