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| 划痕深度 | 精细量程 | 最大量程 |
| 最大位移 [μm] | 100 | 1000 |
| 深度分辨率 [nm] | 0.05 | 0.5 |
| 本底噪音 [rms] [nm]* | 1.5 | |
| 法向载荷 | 精细量程 | 最大量程 |
| 最大载荷 [N] | 10 | 30 |
| 载荷分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
| 本底噪音 [rms] [μN]* | 100 | |
| 摩擦力 | 精细量程 | 最大量程 |
| 最大摩擦力 [N] | 10 | 30 |
| 摩擦力分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 无
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 正常使用情况下免费提供更换零部件
报修承诺: 及时维修
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