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产品介绍
K1000质量流量控制器为高精度,高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm,K1000A为小流量量程MFC(从10sccm~50slm),具备多气体多量程功能,8种BIN Size能对应10sccm~50slm的所有流量
K1000质量流量控制器优势
• 传感器部分采用哈氏合金,耐腐蚀性强。
• 产品精度高,可达100%~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 响应时间快(≤1s)
• 产品具有多气体多量程功能,可对气体种类、流量的变更设定
• 支持大流量(最大可到1000L)数字模式通讯模式
• 产品通过CE、RoHS认证
K1000质量流量控制器技术参数
型号 | K1000A | K1000B | K1000C | ||||
流量规格(N2换算流量) | Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM | ||||||
Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM | Bin 6: 3SLM ~10SLM | 60SLM 、100SLM、 | 200SLM、300SLM、 | ||||
Bin 3: 100SCCM~300SCCM | Bin 7: 10SLM~ 30SLM | Bin 8: 30 SLM ~50SLM | 150SLM、200SLM | 400SLM、500SLM | 600SLM、1000SLM(N2, H2, Air 等) | ||
Bin 4: 300 SCCM ~1SLM | |||||||
Bin 5: 1SLM ~3SLM | |||||||
阀类型 | N/O:常开型、N/C:常闭型 | N/C:常闭型 | |||||
流量控制范围 | 2%~100%F.S. | ||||||
准确度 | 100%~25%:±1.0% of S.P., | ±1%F.S.(精度保证范围15~35℃) | ±2%F.S.(精度保证范围15~35℃) | ||||
工作环境温度 | 5~50℃ | 5~45℃ | |||||
响应时间 | ≦1sec | ≦3sec | |||||
线性 | ±0.5%F.S. | ||||||
重复精度 | ±0.2%F.S. | ||||||
工作压差范围 | N/O 100~300KPa (3SLM~10SLM) | ||||||
50~300KPa | N/O 150~300KPa (11SLM~30SLM) | 200~300KPa | |||||
(Ar: 100~300KPa) | N/C 100~300KPa (3SLM~30SLM) | (Ar: 250~450KPa) | 100~300KPa | 150~300KPa | 300~450kPa (H2:150~300kPa) | ||
(Ar 200~3500KPa) | |||||||
温度系数 | Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃ | ||||||
最大工作压力 | 400KPa(Ar:500KPa) | 700KPa | |||||
耐压 | 1MPa | ||||||
漏率 | 金属密封:1×10-11Pa?9?9m3/sec He (1×10-10 atm?9?9cc/sec He) | 橡胶圈密封:1×10-7Pa?9?9m3/sec He (1×10-6 atm?9?9cc/sec He) | |||||
橡胶圈密封:1×10-7Pa?9?9m3/sec He (1×10-6 atm?9?9cc/sec He) | |||||||
密封材料 | 金属密封;氟橡胶;氯丁橡胶 | 氟橡胶;氯丁橡胶 | |||||
通讯形式 | 模拟:0~5V DC 数字:RS485、DeviceNet、EtherCAT | 模拟:0~5V DC 数字:RS485、DeviceNet、 | |||||
电源 | 模拟/数字:+15VDC 50mA,-15VDC 200mA; DeviceNet:+11~+24VDC,5.5VA(5.5W) | ||||||
标准接头形式 | VCR 1/4阳接头、双卡套1/4阳接头 、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal | VCR 3/8阳接头、双卡套3/8阳接头 | VCR 1/2阳接头、双卡套1/2阳接头 | ||||
重量 | 1.0kg | 3.0kg | 3.7kg |
全国包邮,价格优惠,含税运,
产品规格不同,型号不同价格就不同,价格根据需求面议
保修期: 2年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 可以随时电话沟通技术问题
免费仪器保养: /
保内维修承诺: 非人工造成的流量计损坏2年内都在质保范围内
报修承诺: 报修后开始安排报修
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