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产品介绍
DS300质量流量控制器优势
• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，完全符合SEMI标准要求。
DS300质量流量控制器技术参数
DS300C | |
型号 | DS300C |
阀类型 | 常闭 |
流量规格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
准确度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
线性 | ±0.5% F.S. |
重复精度 | ±0.2% F.S. |
响应时间 | ≤ 0.5sec |
进口压力 | 240～450KPa 流量规格≤5SLM |
出口压力 | ≤1.2KPa 流量规格≤5SLM |
温度系数 | 零点：≤±0.02% F.S./℃； |
耐压 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金属密封 |
最大工作压力 | 0.45MPa |
工作环境温度 | （10～45）℃ |
输入信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet |
输出信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 |
电源 | ±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极) |
表面化学成分 | Cr/Fe比例≥2.0； |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
标准接头形式 | VCR1/4阳接头； |
电源接头形式 | D型9针阳接头； |
重量 | 1.2Kg |
全国包邮，价格优惠，含税运，
产品规格不同，型号不同价格就不同，价格根据需求面议
保修期: 2年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 可以随时电话沟通技术问题
免费仪器保养: /
保内维修承诺: 非人工造成的流量计损坏2年内都在质保范围内
报修承诺: 报修后开始安排报修
