SPS 光刻机 POLOS µ
SPS 光刻机 POLOS µ

¥1 - 5万

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SPS-保罗

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POLOS µ

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欧洲

  • 金牌
  • 第6年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 进口

SPS 光刻机 POLOS μ

要特征: 
1、写入分辨率低至2 μm
2、可调整的写作领域和具有可互换目标的解决方案
3、与CAD文件或位图图像兼容
4、与g线光刻胶兼容
5、兼容多种基材(硅,玻璃,金属,塑料等)
6、兼容任何样品尺寸达4英寸的晶片
7、相机反馈以进行对准步骤
8、由于没有硬掩模,节省了时间和金钱
9、将设计直接覆盖在样品上的直观对齐方法
10、占地面积小的桌面
11、非常适合微电子,2D材料,微流体,光电,opty或任何其他2D微加工应用的技术


规格参数:

1、光源曝光:435 nm; 对准:525 nm
2、最小特征尺寸:2至23 μm可调
3、对准分辨率:低至1 μm / cm2
4、最大曝光面积:75 x75 mm2
5、基板尺寸:最大4”晶圆
6、系统尺寸:W:(36厘米); D:(36厘米); 高:(60厘米)
7、多合一PC:Win 10、24英寸全高清
8、SFTprint软件:机器控制,步进重复,自动剂量测试,缝合,对齐
9、SFTconverter:将标准格式(gdsii,dxf,cif,oas)转换为位图图像。 随附的CAD软件

售后服务承诺

产品货期: 15天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

安装调试时间: 到货后3天内

电话支持响应时间: 1小时内

是否提供维保合同:

维修响应时间: 3天内

节假日是否提供上门服务:

是否支持上门巡检:

是否提供预防性维护计划:

是否提供期间核查方案:

是否提供免费应用支持:

是否提供付费应用支持:

是否提供线上售后平台:

维修付款方式: 先维修后付款

基本维修资料公开: 维修图纸;技术参数;专用工具;故障代码;维修手册

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