日立扫描电子显微镜SU3500_参数

核心参数

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产品简介

日立高新高画质的钨灯丝扫描电镜SU3500, 图象质量更进一步。

通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立最先进科技“独具匠心”。
日立高新钨灯丝扫描电镜SU3500具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1。
它为观察和分析提出了崭新的标准。

特点

低加速电压观察时分辨率更高，可更好地观察样品最表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏
全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察
和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2，自动功能缩短＊3了大约11秒
具有在低真空时可以非常好地观察样品最表面的细微形状的“UVD（超高灵敏度可变压力探测器）”＊4
具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”＊4
（*1）：自选
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根据观察条件的不同，时间会有变动
（*4）：自选

规格

项目		描述
二次电子分辨率		3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式）
二次电子分辨率		7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射电子分辨率		4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式）
背散射电子分辨率		10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率		5 - 300,000倍（底片倍率^＊5）
放大倍率		7 - 800,000倍（显示器显示倍率^＊6）
加速电压		0.3 - 30kV
可变压力范围		6 - 650Pa
最大样品尺寸		直径 200mm
样品台	X	0 - 100mm
	Y	0 - 50mm
	Z	5 - 65mm
	R	360°
	T	-20° - 90°
	可观察区域	直径 130mm （旋转并用）
	最大样品高度	80mm（WD=10mm）
	马达台	5轴标配
电子光学系统	电子枪	预对中的钨灯丝
	物镜光阑	4孔可动光阑
	探检测器	埃弗哈特索恩利二次电子探测器
	探检测器	高灵敏度半导体背散射电子检测器
	EDX分析 WD	10mm（取出角35°）
图像显示	操作系统	Windows^® 7^＊7（如有更改，恕不另行通知）
	图像显示模式	全屏模式（1,280 × 960 像素）
		小屏模式（800 × 600 像素）
		双图像显示（800 × 600 像素）
		四屏幕显示（640 × 480像素）
		信号混合模式
排气系统	操作	全自动排气
	涡轮分子泵	210升/秒 × 1
	机械泵	135L/min（162L/min，60Hz）× 1