纳米机械手-纳米操作机-纳米操纵机械臂
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LF-2000

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美洲

核心参数

纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000

产品简介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统,也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。

产品特

 · 兼容主流电镜,不影响电镜功能
· 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能

· 位移传感器集成自动化和可编程运动
· SEM真空环境优化设计,可快速安装与拆卸

规格参数

系统概况

系统尺寸

127x127x33mm3*

机械手数量

1-4

操作手(宏动)

驱动原理

粘滑驱动

运动范围

XY轴:10mm Z轴:5mm

速度

>3mm/s

最小步长

<100nm

操作手(微动)

驱动原理

无摩擦柔性铰链

运动范围

XYZ轴:20μm

速度

>45μm/s

开环运动分辨率

0.5nm

闭环运动分辨率

1nm

定位漂移率

<0.35nm/min

软件功能**

点击-移动

鼠标在电脑屏幕上从A移动到B

自适应放大倍数

定位器移动速度根据SEM放大自动调整

操作手位置保存/加载

用户自定义的“保存/加载”操作手坐标

3D虚拟显示

实时三维显示操作手的位置和运动

自动校准

操作手闭环传感器自动校准

运动轴的自动对准

所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴

*系统尺寸可根据需要减小到50x50x17mm3

**可根据选定SEM/FIB的型号而定


应用案例

电学特性

LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。

电学特性.png

力学测量

LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈,实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕,以及对单根纳米线的拉伸测试。

力学测量.png

拾取和放置操作

使用末端工具(例如:探针、微纳米夹持器、超声切割针),操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作

拾取和放置操作.png

制作微纳米器件

精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。

制作微纳米器件.png

纳米电子器件电学测量

LifeForce纳米操作机是市面上能够自动探测电子结构(范围从亚微米,亚100nm及亚20nm)。只需要通过计算机点击鼠标,将探针定位到目标位置。极低得定位漂移,保证数据采集得可靠性。

纳米电子器件电学测量.png


 

 

 

主要软件功能

软件-1.jpg

① 位置反馈:提供每个操作手XYZ精确得位置反馈,1纳米运动定位分辨率。

② 保存/加载坐标:保存和加载多个操作手得坐标。

③ 自动校准:限度地提高定位性能,并将操作手运动轴对准扫描电子显微镜图像轴。

④ 3D虚拟显示:实时3D虚拟空间显示操作手(粉红色方块)和样品(绿色平面)得位置。

⑤ 点击-移动:通过在屏幕上鼠标点击控制操作手运动。

⑥ 多操作手联动:连接多个操作手得运动,具有纳米级精度。

⑦ 图片-视频录制:保存操作过程中的高清图片和视频。


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 1次技术培训

免费仪器保养: 1年1次

保内维修承诺: 免费调试

报修承诺: 1-2天内到达现场

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