仪器种类： 进口等离子清洗器
射频频率： 13.56MHz
功率： 10~99W
样品腔容积： 4.4L
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 氧气或氩气
控制方式： 自动
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技术优势：
1、采用专利DownStream设计，等离子体中不含任何电荷及离子态物质，防止对样品表面的溅射损伤；
2、ICP诱导激发等离子体，等离子体量大，且作用范围广；
3、可同时清洗3根透射电镜样品杆，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列样品杆；
4、采用Qwk-Switch快接口设计，等离子发生器可以直接接入其他真空腔体进行在线清洗，一机多用；
5、清洗功率范围：10W-99W，样品清洗舱大小：7英寸（φ） X 7英寸（H）；
6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；
7、配备真空探测系统，可设定真空范围自动进行清洗；
8、清洗速率：1.5nm/min@30W, 清洗去除为线性模式，可定量化去除污染
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费现场培训
免费仪器保养: 一年两次
保内维修承诺: 保修期内人工与配件全包
报修承诺: 24小时电话技术支持，如需上门3个工作日内到达用户现场
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