透射电镜原位电学分析系统——纳米尺度原位电学成像分析解决方案
透射电镜原位电学分析系统在先进材料科学、纳米技术开发、半导体器件开发及失效分析中发挥着至关重要的作用，能够为研究纳米尺度材料及器件提供电学性能分析支撑。
该系统能够适配所有具备外部扫描控制接口的透射电镜，通过深度集成的硬件及软件协同，能够实现对所有电学信号的放大、获取及分析，每个信号均能够实现自动量化，覆盖µA/nA/pA等电流范围。
该系统主要技术优势
・采集系统兼容所有带有外部扫描接口的透射电镜(与EDS或EELS类似)
・所有放大和采集设置均由软件控制
・信号自动量化并以电流值(µA, nA, pA)显示
硬件设备特点
・快速放大优化成像
・宽增益范围，以适应所有技术
・小型化的固定式电子设备
・自动信号路由
为透射电镜原位电学样品杆设计的低噪声前置电流放大器
主要技术优势：
・最靠近原始信号的初级放大，能大幅降低信号噪音
・内置电压偏压和电流补偿
・自动信号路由，避免放电
为透射电镜配备的电学分析放大器
主要技术优势：
・第二级放大以达到最大范围
・出厂精确校准的增益和偏移
・可选锁定配置
电学分析成像仪(DISS6)
主要技术优势：
・集成扫描发生器和图像采集
・像素分辨率高，扫描速度快
・高位深电学分析模数转换
・同时输入明场, 高角环形暗场和电学分析信号
软件设备特点：
DISS6 -控制和采集应用程序
主要技术优势：
・电学分析放大器控制
・电学分析, 高角环形暗场和明场图像采集
・自动定量到µA…fA
・电流-电压扫描工具
・实时图像颜色混合工具
・标准文件格式
DIPS6 -数据处理程序
主要技术参数：
・完整的图像和元数据查看器
・自动定量到µA…fA
・基于梯度的变色效果
・用于可视化的信号颜色混合
・导出定量像素值
应用案例
图一. STEM-EBIC技术:
・非弹性损失诱导了片层中的电子-空穴对
・内部电场将电子-空穴对分开
・电流被数字化以获得电子束诱生电流(EBIC) STEM图像
图二. 揭示内部电场:
・分析器件中的接点和触点
・根据设计验证掺杂分布
・与设备模型和参数相关联
图三. 研究每一层结构中的电学性能：
・定位重组活性增加的位点
・区分有/没有电学活动的缺陷
・使用高分辨率技术
图四. 基本物理参数测定:
・少数载流子的扩散长度
・位错的复合强度
图五. FIB/SEM薄片制备:
・应用标准FIB工作流程进行原位偏压
・利用扫描电镜中的电学分析视场选择目标
・在扫描电镜中筛选薄片以观察制备过程中的损伤
