仪器种类： 进口等离子清洗器
射频频率： 13.56MHz
功率： 10~99
设备尺寸： 19.3*28.8*17.3
样品腔容积： 4.4L
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： Air,CDA,other gases or gas mixtures
控制方式： 自动
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技术优势：
1、 清洗功率可调节：0 to 99 watts；
2、 操作压力可调节：from 2 torr to 1 mTorr；
3、 清洗速度快；
4、 无需破真空进行清洗，实现原位清洗；
5、 即插即用设计方案，无需集成；
6、 采用从上到下清洗模式，降低对样品的损伤
7、微量等离子激发，消除清洗和成像交换之间的图像形成的迟滞现象；
8、扩展性好，可配用各类台式电镜、透射电镜原位清洗以及样品清洗使用
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费现场培训
免费仪器保养: 一年两次
保内维修承诺: 保修期内人工与配件全包
报修承诺: 24小时电话技术支持，如需上门3个工作日内到达用户现场
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