λ/1000超高精度激光干涉仪!
姓名：陈工(Jack)
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爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品，测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术，主要用于高精度的表面（平面,球面,非球面,自由曲面）检测及透射波前检测。
产品参数：
产品特点：
测量光路示例：
高分辨率激光干涉仪
型号：High_resolution_Interferometer 面议
皮米精度位移激光干涉仪
型号：quDIS 5万 - 10万
Difrotec点衍射激光干涉仪
型号：大口径（≥700mm）高精度（≤0.6nm R 50万 - 100万
KALEO多波长激光干涉仪模块
型号：KALEO 50万 - 80万在本文中，我们介绍了目前国际上常用的激光干涉相关技术，详细法布里珀罗谐振腔原理，并以频率扫描干涉法(FSI)为例分析目前发展现状。
点衍射干涉仪（Point Diffraction Interferometer，PDI）是一种基于衍射干涉原理的光学测量设备。它利用激光束小孔后产生接近理想的点光源对物体表面进行测量，可以实现对物体形状、表面粗糙度、折射率等参数的高精度测量。点衍射干涉仪不需要标准参考件，可以用于超高精度面型的检测，是一种非常重要的高精度测量仪器。
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