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CIF扫描电镜等离子清洗机
CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换清洗源，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗功能。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
u 双等离子清洗源
u 一机多用
u 高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40（CF40) |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调，远程等离子源，自动匹配器 |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC)可选双路。50毫分/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 有
免费仪器保养: 看客户需求
保内维修承诺: 保修期内免费维修
报修承诺: 24小时内响应
