高温探针台 | ||||
型号 | CJ-4 | CJ-6 | CJ-8 | |
台
体 | 尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | |||
X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸 | 6英寸*6英寸 | 8英寸*8英寸 | |
X-Y移动精度 | 10微米/1微米 | |||
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | |||
针座平台 | 最多可放置4个探针座 | 最多可放置6个探针座 | 最多可放置8个探针座 | |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | |||
温控 系统 | 温度范围 | 室温到300度 | 室温到400度 | 室温到600度 |
温控精度 | 1度/0.1度/0.01度 | |||
稳定性 | ±1度/±0.1度 | |||
显 微 镜 | 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 | ||
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X | |||
移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm | |||
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | |||
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 | |||
探 针 座 | X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm | ||
移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 | |||
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | |||
探 针 夹 具 | 线缆 | 同轴线/三轴线 | ||
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | |||
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | |||
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 | |||
探 针 | 针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 | ||
材质 | 钨钢/铍铜 | |||
外形 | 400mm长*400mm宽*600mm高 | 580mm长*480mm宽*600mm高 | 840mm长*600mm宽*700mm高 | |
重量 | 约30千克 | 约60千克 | 约100千克 | |
可选附件 | 水冷装置 | 屏蔽箱 | 高压测试配件 | |
显示器 | 光学平台 | 显微镜快速倾仰装置 | ||
转接头 | 镀金卡盘 | 激光系统 | ||
射频测试配件 | 光电测试配件 | 探针卡夹具 | ||
根据客户要求定制 | ||||
