探针台配置根据客户要求定制，以下数据仅供参考！具体数据欢迎来电咨询！
规格
Chuck（可选） 4" 不锈钢，真空吸附型，独立开关控制
Chuck X-Y轴行程，精度 4" x4"，10um
Chuck 旋转角度 0~360 度
Chuck 旋转角度微调精度 0.01°
Chuck快速升降（选配） 8mm
Chuck微调升降（选配） 8mm ，1um精度
Chuck 平整度 5um
针座平台 C型设计，可放置8个针座，可扩展为O型平台
针座平台平整度 5 um
探针座移动精度 2um（精度要求可选）
探针夹具 同轴弹簧夹具、三轴管状夹具（可选）
显微镜Z轴行程，精度 2"，细调精度0.1um
需求
电力 220 VAC, 60Hz
真空 -250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
320mm宽*320mm长*400mm高（带显微镜）
重 20 Kg（带显微镜）
可选附件
激光切割
加热台
防震桌
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
CCD视频系统
液晶漏电分析套装
屏蔽箱
镀金Chuck
