【Hitachi】SU-70日立分析型热场发射扫描电镜

仪器简介：

    为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。

技术参数：

二次电子图象分辨率:
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

放大倍数:
低放大倍数模式 20-2,000x
高放大倍数模式 100-800,000x

电子光学:
电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪
电流 1pA-100nA
加速电压 0.5-30KV(标准模式)
着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)
透镜系统 3级电磁线圈系统
物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调

样品台:
样品台控制 5轴马达控制
移动范围
X 0-110mm
Y 0-110mm
z 1.5-40mm
T -0.5O-+700
R 360O
样品尺寸 直径150mm(标准)
(最大) 直径200mm(可选)

探测器:
二次电子探测器
背散射电子探测器(可选)
STEM探测器(可选)
法拉第杯(可选)
X射线能谱仪(可选)
X射线波谱仪(可选)
EBSP探测器(可选)
阴极荧光探测器(可选)

主要特点：

     日立SU 70型热场发射电镜的物镜设计与以往有很大不同，它集成了广受好评的S-4800的半内透镜和ExB技术，可完成样品微观结构的高分辨观测；同时新设计的无外泄磁场观测模式能提供强大的探针电流，可以适应各种扩展分析的需求，是第一款集高分辨和高分析能力于一身的新型热场发射扫描电镜。