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XY扫描器
闭环控制式单模块柔性XY扫描器。
扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm×100 μm, 10 μm×10 μm )
Z扫描器
柔性引导高力度扫描器
扫描范围: 12 μm (可选 25 μm)
样品台
XY台工作范围: 13 × 13 mm
Z台工作范围: 29.5 mm
聚焦台工作范围: 70 mm
光学系统
可观察样品和探针的直视同轴光学系统
10X 物镜 (可选20X）
视场: 480 × 360 μm
CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
电路系统
高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS
大图像尺寸: 4096 x 4096像素, 16个数据图像
信号输入： 在500kHz取样时, 16位ADC的20个通道
信号输出： 在500kHz取样时, 16位ADC的21个通道
同步信号 ：图像结束, 线结束及像素结束TTL信号
主动Q控制(选配)
悬臂梁弹性常数校准(选配)
CE Compliant
电源 : 120 W
信号处理模块 (选配)
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