瑞士Femto Tools原位SEMFIB纳米力学

公司简介：

FemtoTools是一家瑞士高科技公司，研发团队依托于瑞士联邦理工学院-机器人与智能系统研究所（ETH-IRIS）Bradley Nelson 教授课题组，为微纳米尺度的机械测试和机器人处理研发超高精度仪器，充分满足半导体技术、微系统开发、材料科学、微型医学和生物技术等领域的挑战性要求。FemtoTools的微机械处理和测量仪器配备高灵敏度的微力传感探头和力传感微钳，这是基于特殊开发的微机电系统（MEMS）的制造工艺成果。其产品及技术以创新系统的无与伦比的灵敏度和准确性重新定义了微米和纳米领域中精确定量研究的标准，迄今已获得多项重要奖项，包括瑞士技术创新大奖、国际机器人与自动化大会颁发的学术贡献奖（ICRA）等。FemtoTools主要产品有压力传感器探针、纳米移动平台和定位系统、数据采集控制系统等等，可以在光学显微镜、探针台或电镜环境下，结合其独有的微纳力学传感探针或微钳，对样品进行力学性能测试或微纳尺度的操纵。产品已经在生物与生物工程、材料科学、MEMS 表征、微型机械手臂、纳米技术等广为应用，不断为客户创造令人兴奋的新的可能性

产品型号：

FT-NMT03

产品简介：

FT-NMT03纳米力学性能测试系统是一款可在SEM/FIB对微纳米材料和结构的力学性能进行原位、直接而准确测量的纳米机器人系统。测试原理是通过微力传感探针对微纳结构施加可控的力，同时采用位移记录器来测量该结构的形变。从测得的力和形变（应力-应变）曲线可以定量地分析微纳米结构的力性能。通过控制加载力的大小和方向，可实现拉伸、压缩、断裂、疲劳和蠕变等各种力学测试。同时，其配备的导电样品测试平台可以对微纳米结构的电学和力学性能进行同步测试。

绝大多数的纳米力学测试都需要复杂的样品制备过程。为了使样制备简单化和人性化，FT-NMT03采用能够感知力的微镊子和不同形状的微力传感探针针尖来实现对微纳结构的精确提取、转移直至将基固定在测式平台上。总而言之，集合纳米操作以及力学-电学性能同步测试功能于一体的FT-NMT3能够满足几乎所有的纳米力学测试需求。

产品特点：

能同时实现SEM/FIB高分辨成像和纳米力学性能测试

能够通过力和位移两种控制模式实现各种力学则试，例如拉伸、压缩、弯曲、剪切、循环和断裂测试等

电性能测试模块能够实现力学和电学性能同步测试（样品座配备6个电极）

导电的微力传感探针可有效减少荷电效应

兼容于SEM本身的样品台，安装和卸装快捷方便

用户可设计自定义的测试程序和测试模式