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电式定位调整台 
（1）高精密的压电式调整台
（2）粘滑运动设计
（3）控制
压电式定位调整台采用压电驱动的电机，在需要定位的场合中可实现亚微米级别的分辨率行程。除了内置编码器以维持可重复性，压电式定位调整台还采用了粘滑运动设计，能够完全扩展压电元件，在没有牺牲度或整体行程范围的情况下，使该调整台沿其行程的轴移动。线性定位调整台的移动速度可达每秒2mm，整个行程长度超过51mm。该旋转台利用两个预装的钢球轴承，每秒可转动6°以上，无限行程，且具有高阻滞力。 
订购信息
1）12mm Travel Piezo Positioning Stage
#88-548技术参数与相关资料
行程 (mm) | 12 |
分辨率 (μm) | 0.5 |
分辨率 (°) | Bi-directional: ±1 |
精度 (μm) | 2 |
速率 (mm/sec) | 0.001 - 2 |
平滑度 (μm) | ±2 |
负载容量 (kg) | Normal: 1 |
重量 (kg) | 0.05 |
尺寸 (mm) | 20 L x 35.5 W x 13 H |
RoHS |
2）26mm Travel Piezo Positioning Stage
#88-549技术参数与相关资料
行程 (mm) | 26 |
分辨率 (μm) | 0.5 |
重复性 (μm) | Bi-directional: ±1 |
精度 (μm) | 3 |
速率 (mm/sec) | 0.001 - 2 |
平滑度 (μm) | ±3 |
负载容量 (kg) | Normal: 1 |
重量 (kg) | 0.07 |
尺寸 (mm) | 40 L x 35.5 W x 13 H |
RoHS |
3）50mm Travel Piezo Positioning Stage
#88-550技术参数与相关资料
行程 (mm) | 50 |
分辨率 (μm) | 0.5 |
重复性 (μm) | Bi-directional: ±1 |
精度 (μm) | 4 |
速率 (mm/sec) | 0.001 - 2 |
平滑度 (μm) | ±4 |
负载容量 (kg) | Normal: 1 |
重量 (kg) | 0.1 |
尺寸 (mm) | 80 L x 35.5 W x 13 H |
RoHS |
4）Rotary Piezo Positioning Stage
#88-551技术参数与相关资料
行程 (mm) | Unlimited |
分辨率 (°) | 1.1 x 10-6 |
重复性 (°) | Bi-directional: ±0.0022 |
精度 (°) | 0.01 |
速率 (°/sec) | 0.001 - 6 |
离心率 (μm) | ±5 |
平滑度 (μm) | ±5 |
负载容量 (kg) | Normal: 1 |
重量 (kg) | 0.075 |
尺寸 (mm) | 36.5 L x 32 W x 30.4 H |
RoHS |
5）Piezo Positioning Stage Controller
#88-552技术参数与相关资料
尺寸 (mm) | 145 x 85 x 25 |
软件 | Windows GUI, LabVIEW VI |
分辨率 (nm) | max: 1 nm (open loop), 2 nm (closed loop) |
速度 (mm/s) | 2 |
注意 | Interface: USB 2.0, RS-485 |
电源 | Regulated 5 V DC (1 A per axis) |
RoHS |
