产地类别: 国产
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VTC-3RF是一款小型台式3靶等离子溅射仪(射频磁控型),配有三个1英寸的磁控等离子溅射头和射频(RF)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。
技术参数
输入电源 |
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等离子源 | |
磁控溅射头 | |
真空腔体 | |
载样台 | |
真空泵 | |
薄膜测厚仪(可选) | |
质保和质量认证 |
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外形尺寸 | |
使用注意事项 |
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