仪器种类: 管式炉
最高温度: 1200
控温精度: ±1℃
最大功率: 4KW
升温速度(达到最高温): 20℃/min
加热方式: 掺钼铁铬铝合金(表面涂有氧化锆涂层,可延长使用寿命)
内部尺寸: OD:100mm×ID:94mm×Leng1450mm
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OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统,组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉,预热炉(作用为使固体原料蒸发)和德国进口的无油泵。此款PE-CVD对于生长纳米线或用CVD,方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。
技术参数
特点 |
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双温区滑轨炉 (点击图片查看详细资料) |
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等离子射频发生器 |
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预热炉
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防腐型数显真空计 |
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真空泵和阀
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电动滑轨 |
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升温和降温速率
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可选 | 可以选购2-4通道质子流量计混气系统(精度1.5%) |
外形尺寸 |
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净重 | 220 Lbs. |
质保期 | 一年质保期,终生维护(不包括炉管、密封圈和加热元件) |
质量认证 | |
使用注意事项: |
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