带有预热系统的滑动PECVD

双温区滑轨炉
 

(点击图片查看详细资料）

• 连续工作最高温度为1100℃

• 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命(点击文字查看详细资料）

• 两个温控系统独立控制两个温区，都可设置30段升降温程序

• 每个温区长度为200mm

• 总温区长度：400mm

• 恒温区：200mm(两个温区设置同样的温度）

• 两个温区最大温差为：400℃

• 炉管材料：高纯石英管

• 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L

• 所需电源: 208 – 240V AC单相

• 最大功率： 4KW

等离子射频发生器
 

• 输出功率: 5 -500W可调

• 稳定性为：+/-1%

• 射频电源频率：13.56 MH, 稳定性±0.005% 

• 最大反向功率: 200W 

• 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半导体, 阴极

• 噪音:<50 dB.

• 冷却方式：空气冷却

• 输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz  

预热炉

• 一款小型单温区管式炉，加热区为200mm

• 最高温度:  1100oC

• 可设置30段升降温程序

• 控温仪表操作视频

• 气体通过等离子射频电源前，先通过预热炉

• 也可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合
  

防腐型数显真空计
 

• 测量范围3.8x10^-5 至 1125 Torr

• 当气压在10mbar以上时，可独立测量各种气体，不必做校正（包括混合气体）

• 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性

• 信号响应时间较短（≤30ms)

• 因为传感器上镀有防腐涂层，所以具有较好的抗腐蚀性

真空泵和阀

• 可以从本公司选购以下几种真空泵

• 如您想获得更高的真空度(<10^-5 torr or better) 可选国产或进口高真空机组

• 配有挡板阀、波纹管和卡箍等真空配件

•           

电动滑轨

• 可将电动滑轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果

• 滑动速度：0-70 mm/s（可调）

升温和降温速率

• RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买）

• 为了获得最大的升温速率，可将炉体升温到设定温度，然后将炉体滑到样品盛放位置

可选

可以选购2-4通道质子流量计混气系统（精度1.5%）

外形尺寸

• 炉体: 550 x 380 x 520  mm 

• 滑轨长度：1750 mm 

质保期

一年质保期，终生维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）

    CE Certified

• 炉管内气压不可高于0.02MPa

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

• 石英管的长时间使用温度＜1100℃

• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）