产地类别： 进口
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M系列是高端机型，光斑尺寸仅为15μm(FWHM)，120倍放大相机用于观察样品上的细微特征; 同时配有低倍数相机，用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品，点击图像，通过高倍放大相机进行放大，实现测量点的精确定位和测量。
可编程的XY平台，可精确定位多个测量点；博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能可帮助客户自动快速完成细微样品特征的测试。独特的3D Mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。
该系列采用15μm毛细管光学结构和高分辨率SDD探测器，以处理更高的计数率。相机具有120x放大和更高数字变焦能力。可编程的XY样品台是标准配置。M系列焦距非常小，所以使用时样品必须平整。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 安装后，提供1次免费上门培训
免费仪器保养: 保修期内提供1次免费上门回访
保内维修承诺: 非人为因素故障，整机保修1年，保修期间提供免费维修和上门服务。
报修承诺: 工作日内24小时内响应
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