PSD位置探测器
PSD位置探测器

¥1000

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TEM Messtechnik Gm

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PSD_Position_Sensitive_Detector

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欧洲

  • 金牌
  • 第12年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产品信息                                        

PSD位置探测器

所属类别: ? 探测器/光子计数器 ? PSD位置探测器
            所属品牌:德国TEM Messtechnik GmbH公司

                                                                         产品简介

分辨率达到纳米级别的4D PSD可独立探测区分光束位置漂移和角度漂移。

 


德国TEM公司研发的4D PSD位敏探测器,采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。

 


关键词:PSD,位置探测器,激光位置探测器,位置灵敏探测器,光电位置探测器, 位置敏感探测器,四象限探测器,位置传感探测器,置灵敏探测器,2D PSD,Position Sensitive Detector,激光位置探测器

 

 

PSD位敏探测器

 

 

德国TEM公司研发的4D PSD位置敏感探测器,采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。

 

PSD 4D i: PSD位敏探测器(工业级)

? 4维测量: 位置 XY 和角度 XY

? 连续光和脉冲激光器

(检验光束功率,连续光: 100 μW-10 mW,脉冲:>10 nJ)

? 高精确度: < 1 μm< 1 μrad

 

PSD 4D e: PSD位敏探测器(实验级)

?  类似 "PSD 4D i",但是离散元件PSD4D i

?  易于适应实验装置和更高的精确度: < 10 nm< 10 nrad

 

PSD 2D:  2DPSD位敏探测器(连续光或脉冲)

?  独立使用,或组合成4PSD使用

?  标准波长: 380nm-1100nm

?  定制波长: 180 nm-2600 nm

 

PSD紫外增强型晶片组

?  升级 PSD 4D 到紫外/极紫外

?  PSD晶片组直径 4mm, 10mm

 


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  • 在光刻系统中,激光的指向稳定非常重要,会直接影响光刻的图形准确性和一致性。影响光束指向稳定的主要因素有三个,分别是激光器本身的位置偏移,处于不同基座上的激光器和照明系统之间的振动差异性以及传输过程中的光学系统的扰动。这些扰动会对光刻的质量造成严重影响。。本文提及来自TEM的Aligna激光束指向稳定系统,具有高精度和低响应时间等优点,为光刻中照明系统的指向稳定提供解决方案。

    529MB 2024-05-21
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