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所属类别: ? 应用解决方案 ? 激光稳定系统(光束指向/频率/功率)
所属品牌:德国TEM Messtechnik GmbH公司
产品简介
上海昊量光电提供激光束指向和位置稳定系统,全自动反馈补偿,最高反馈精度<10nm,<10nrad,大幅提高激光指向稳定性和激光加工精度。
关键词:激光指向稳定,激光光束指向稳定,光束指向稳定,激光位置指向稳定,光束准直,激光自动对准,激光准直,激光漂移补偿,激光束指向和位置稳定系统,光束指向和位置稳定,激光精密加工,激光通讯, 调光锁定系统,激光光束定位系统,激光光束定位稳定系统
激光束指向和位置稳定系统
德国TEM公司研发的激光束指向和位置稳定系统(调光锁定系统),使用PSD(或其他探测器)探测光束指向和位置漂移量,反馈控制致动反射镜补偿光束漂移,伺服带宽超过5KHz,最高反馈精度<10nm,<10nrad。目前,TEM激光束指向和位置稳定系统已广泛应用于强激光核物理,深空激光通信,激光精密加工领域。
应用:
? 高精度材料加工
? 空气扰动和漂移补偿
? 光学部件移动干扰补偿
? 激光多应用转换
? 光学装置特性描述的多灰度扫描
? 单模光纤/高位谐波振荡毛细管自动连接优化
? 激光替换全自动校准
? 不同光学平台和房间的激光实验
? 激光打孔: 激光漂移补偿
技术参数:
? 连续波和脉冲激光器:重复频率 0.1Hz-200MHz/连续波
? 模块化系统,单装置2/4光束控制
? 反馈精度: <1μm,<1μrad (最低可达10-100 nm)
? 超大扫描范围:>18°
? 全波段(标准:380-1100nm,定制180 nm-10 μm,THz(太赫兹)),任意光束直径
? 高速度:伺服频宽超过5kHz
? 压电驱动制动器和机械装置多种组合
? 全计算机控制(USB,串口,局域网),完全独立操作
? 外部测量装置连接件(功率计,PDs, ...)
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型号:low cost beam profiler 面议PSD位置探测器
型号:PSD_Position_Sensitive_Detector 1000高功率亚纳秒激光器/皮秒激光器(100~300ps)
型号: 脉冲激光器(调Q/锁模/脉冲二极管) 面议高功率780nm/1550nm飞秒光纤激光器
型号:CFL-05RFF0 面议在光刻系统中,激光的指向稳定非常重要,会直接影响光刻的图形准确性和一致性。影响光束指向稳定的主要因素有三个,分别是激光器本身的位置偏移,处于不同基座上的激光器和照明系统之间的振动差异性以及传输过程中的光学系统的扰动。这些扰动会对光刻的质量造成严重影响。。本文提及来自TEM的Aligna激光束指向稳定系统,具有高精度和低响应时间等优点,为光刻中照明系统的指向稳定提供解决方案。
依靠声光调制器或电光调制器,或旋转偏振光学器件,透射激光束功率可以进行电子控制。NoiseEater快速PID调节器使激光功率稳定在固定值,因此减少了的强度噪声。
由于使用了灵活的激光光束来扫描,甚至非圆形且具有复杂外形的小孔都可以得到。在制造尺寸很小的孔的方面,已经有一系列非接触、无摩擦的技术,它们使用 了紧密聚焦的光束,这些技术已经在微电子制造工艺和发动机零件的制造中建立了一定地位。如果小孔必须是圆锥形,将遇到特别的困难,因为在打孔方向上直径不 断在增加。这种几何形状在一些零件中是需要的,比如喷嘴组件,它们从反向是无法达到的。科学家已经开发
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