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MKS MultiGas™ 2030傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MultiGas™ 2030傅利叶变换红外光谱分析仪能分析含水汽量高达40%的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MultiGas™ 2030傅利叶变换红外光谱分析仪操作简便，易于维护。
MultiGas. 2030傅利叶变换红外光谱分析仪由专利保护的2102傅利叶变换红外制成分光计，高光通量取样单元，专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MultiGas™ 2030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析，提供绝大多数气体及水蒸气的高精度，高灵敏度测量。
Figure 1. Cement Plant data for HCL H2O and CO2
