产地类别： 进口
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MKS MultiGas™ 2030傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MultiGas™ 2030傅利叶变换红外光谱分析仪能分析含水汽量高达40%的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MultiGas™ 2030傅利叶变换红外光谱分析仪操作简便，易于维护。
MultiGas. 2030傅利叶变换红外光谱分析仪由专利保护的2102傅利叶变换红外制成分光计，高光通量取样单元，专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MultiGas™ 2030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析，提供绝大多数气体及水蒸气的高精度，高灵敏度测量。
特点和优点
| 0-100ppb灵敏度对于绝大多数有毒有害气体 | 专利保护的线性检测器，确保所有分析仪维持在相同的校准条件下 |
| 易于移动从一处移到另一处，设置仅需几分钟 | 频率和分辨率诊断，确保校准恒定 |
| 同时分析和显示多达30种气体分析仪储存了校准光谱，省去了气体的成本 | 提供自动温度和压力补偿以确保分析精度 |
| 取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度 | 用户操作简便软件界面，稍加培训即可操作 |
市场应用
烟囱监测器 气体纯度分析
工艺监测改进和优化 燃烧排放监测
空气环境分析 选择性硅整流催化还原性能监测
分析仪主机规格
测试技术 傅利叶变换红外光谱
可测试气体或水蒸气 绝大多数分子除了氮气，氧气和氢气
范围浓度 从10ppb到100%
傅利叶变换红外 2102制成傅利叶变换红外
光谱分辨率 0.5 - 128cm-1
扫描速度 每秒一次在0.5cm-1
扫描时间 1 – 300秒
红外源 碳化硅在1200℃
参考激光 氦氖（15798.2cm-1）
检测器 液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT（汞-镉-碲化物）
压力传感器 MKS Baratron电容式薄膜压力传感器
分析仪采样参数
采样温度 室温至200℃（取决于校准温度）
采样速流 0.2 – 10升/分
采样压力 0.01 – 4大气压（取决于校准压力）
检测极限
5.11米气室，MCT检测器在0.5cm-1分辨率下，下列典型气体最低检测数据为：
名称 分子式 20/20气室，5分钟检测 20/20气室，1秒钟检测时
时间下的最低检测值 间下的最低检测值
氨气 NH3 30ppb 0.5ppm
二氧化碳 CO2 12ppb 0.2ppm
一氧化碳 CO 72ppb 1.2ppm
甲醛 H2CO 36ppb 0.6ppm
氯化氢 HCl 87ppb 1.5ppm
氢氟酸 HF 12ppb 0.2ppm
甲烷 CH4 36ppb 0.6ppm
二氧化氮 NO2 24ppb 0.4ppm
氧化氮 NO 210ppb 3.6ppm
三氟化氮 NF3 30ppb 0.5ppm
四氟化硅 SiF4 10ppb 0.15ppm
二氧化硫 SO2 36ppb 0.6ppm
四氟化碳 CF4 2.5ppb 40ppb
二甲苯磺 C8H10 60ppb 1.0ppm
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