极紫外光源 EUV/软X射线光源 EQ-10 无电极Z-Pinch 10W EUV光源

极紫外EUV/软X射线光源

无电极Z-Pinch技术

    各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线，但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子体中。电极一般都要与高温等离子体接触，可能熔化并产生很多残留碎屑。

Energetiq独特的技术也是基于Z-Pinch等离子体，但是却完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到最低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

EQ-10无电极Z-Pinch 10瓦EUV光源

    EQ-10是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10 EUV光源特别适合测量学和研究应用。EQ-10 EUV光源的模块化设计使之很容易集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空和气体子系统、功率输出子系统和控制电路。EQ-10可以在2π球面度输出高达10W的EUV功率，并以高达2KHz的脉冲重复频率连续运行。

性能

1、使用氙气在2π球面度输出10W

2、高达2KHz脉冲重频率

3、小等离子体尺寸

4、低残留

5、低成本

6、氙气流速低

7、将消耗成本降至最低

8、占地面小

可靠性

1、无电极Z-Pinch专利技术

2、符合CE标志和SEMI S2-0703

应用

1、EUV度量学

2、耐EUV开发

3、缺陷检测

4、EUV显微学

杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 

我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。

拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。

热线电话： / 

传真：+86571 8807 7926

网址： /

邮箱：