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无电极Z-Pinch技术
各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线,但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子体中。电极一般都要与高温等离子体接触,可能熔化并产生很多残留碎屑。
Energetiq独特的技术也是基于Z-Pinch等离子体,但是却完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁,能够将热负载消除到最低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。
EQ-10SXR是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源,基于Energetiq使用氮气的无电极Z-Pinch技术。
EQ-10SXR组成包括一个19英寸机架,包括气体亚系统、功率输出系统和控制电路;集成真空泵的无电极Z-Pinch光源组装;和一个高效率脉冲调制器。模块化设计使之很容易集成到显微镜或其它应用设备中。
EQ-10SXR可以在2π球面度输出高达400mW的2.8nm波长功率,并以高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。
为了满足不同设备的应用要求,用户可以调节光源的工作条件,用户可以调到最高功率最高亮度。在典型工作条件下等离子体尺寸一般小于1mm直径。用户可以通过彩色触摸屏操作,可手动和自动工作。EQ-10SXR很好安装,要求电源、冷水机、净化压缩空气和高纯氮气源。
特点
1、使用氮气产生2-4nm软X射线
2、等离子体直径小于1mm
3、性价比高、结构紧凑
应用
1、水窗显微镜
2、细胞微光束探测
杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商,致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域,可广泛应用于教学、科研及产品开发。
我们主要代理的产品有:微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态(脉冲)激光波前畸变检测干涉仪(用于流场、波前等分析)、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。
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