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RTP-100快速退火炉为德国优尼坦公司生产，分为RTP-100/150/300多个型号，分别对应4英寸、6英寸、8英12英寸的真空快速退火炉产品。
应用：
- 快速热退火 RTA；
- 快速热氧化 RTO；
- 扩散，接触退火；
- 化合物半导体退火；
- 氮化，硅化；
- 硒化，硫化；
- 石墨烯沉积，碳纳米管生长；
- 晶体化，致密化；
技术规格：
规格 | RTP-100 | RTP-150 |
最大样品基底直径 | 100mm (4英寸) | 150mm (6英寸) |
腔体尺寸 | 130mm直径 x 25mm | 200mm直径 x 25mm |
红外灯数量/最大功率 | 12支 / 30KW | 18支 / 34KW |
红外灯冷却方式 | 风扇 | 风扇 |
标准温度范围 | 室温 ~ 1200°C | 室温 ~ 1000°C |
选配高温版本范围 | 室温 ~ 1200°C | 室温 ~ 1200°C |
升温速度 | 0.1°C ~ 150°C/s | 0.1°C ~ 100°C/s |
温度控制 | 快速数字PID控制器 | 快速数字PID控制器 |
热电偶 | K型 | K型 |
高温计 | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C |
气体注入 | 石英视窗以下 | 石英视窗以下 |
清洗气路 | 标准配置 | 标准配置 |
工艺气路方式/数量 | MFC / 4路 | MFC / 4路 |
真空获得系统 | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) |
尺寸/重量 | 510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg | 510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg |
参考客户：
清华大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心等。
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