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EPS-1000为韩国Ecopia最高端的手动探针台型号,适合科研及半导体微电子器件的失效分析。
产品规格:
- 镀金真空样品吸盘:4", 6", 8" etc;
- 样品尺寸:5x5mm ~ 4", 6", 8" etc;
- 样品卡盘平整度:10um;
- 探针座精度:0.7um;
- 样品卡盘旋转(Phi):360度;
- 探针台台面快速升降;
- 探针锁位设计,防止回针;
可选附件:
- 显微镜X/Y移动;
- CCD视频镜头;
- 加热台;
- 黑箱、屏蔽箱;
- 防振平台;
- 高倍显微镜 (2000X);
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参考用户:
哈工大、华中师范大学、南京大学、湖北大学、郑州大学、中科院宁波材料所等.
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