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Millbrook公司的MiniSIMS在一个紧凑的台式仪器中开发了SIMS技术。仅需一个标准的主电源，它可以放置在任何最需要放置的位置。完全的计算机控制使得MiniSIMS操作简便并且可以自动采集数据。因特网的远距离控制意味着可移动的SIMS是目前的理想选择。
MiniSIMS使得很多情况下室内表面分析仪器成为一种经济适用的解决方案。这种分析方法比求助于SIMS分析实验室的合同测试更快，更方便。低成本和维护费用，以及高样品量，保证了单位样品的总成本比使用传统的SIMS仪器减少了90%。
MiniSIMS系列的入门级仪器是MiniSIMS alpha。这种热销的仪器，非常适合测定样品的特定性质。按照已知标准进行质量监控，或者研究以及工艺优化中的多样品比较分析方面，该仪器非常高效。这种情形下，预置的分析条件意味着很多不同的操作者能够获得重复性的数据。通常每个样品的分析时间短至5分钟。
飞行时间质谱仪的引入使得MiniSIMS的性能跃升到一个新的水平。对未知样品的测定像测量已知组成那样简单，该功能使得MiniSIMS ToF尤其适合研究性应用。在失效分析中，比如污染鉴定，附加的细节能够准确地查明问题的确切原因。
| 型号 | MiniSIMS alpha | MiniSIMS TOF |
| 样品尺寸： | 12.5mm或100mm | 12.5mm或100mm |
| 真空度： |
高真空 10-8Pa， |
高真空 10-8Pa， 10-6mbar |
| 质谱： | 四级杆 | 飞行时间 |
| 离子束： | 6kVGa | 6kVGa |
| 绝缘样品分析： | 辅助电子束 | 辅助电子束 |
| 质量数范围： | 300daltons | >1200daltons |
| 质量下限： | 3 | 1（氢） |
| 质量分辨率： | dm=1（指质谱图中，谱峰相邻的两种物质的质量数差值dm的最小值为1，如果质量数差值小于1，则无法分辨。 | m/dm=650（指质谱图中，谱峰相邻的两种物质的平均质量数m与两质量数差值dm之间的比值。该值是从测量到的Al元素与乙烯基C2H3基团的质谱中得到的值，两者的质量数整数部分都是27，小数部分不同。） |
| 灵敏度Mo/MoO: | >5E3cps/nA | >5E3cps/nA |
| 横向分辨率： | 导体10µm 绝缘体50µm |
导体10µm 绝缘体50µm |
| 纵向深度： | 500nm深度 >1E3动态范围 | 500nm深度 >1E3动态范围 |
| 深度分辨率： | 对于表层薄膜<1nm，对于埋置层10-20nm | 对于表层薄膜<1nm，对于埋置层10-20nm |
| 掺杂物探测极限： | ppm | ppm |
| 分析模式： | 静态、动态、成像SIMS | 静态、动态、成像SIMS |
| 样品装载时间： | 标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes | 标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes |
| 视场： | 4.5 mm x 4.5 mm | 4.5 mm x 4.5 mm |
| 一次测量离子种类： | 每次只收集质量数为某一数值的离子 | 同时收集所有二次离子 |
| 成像时间： | 30秒 | 30秒 |
| 一次装载样品数量： | 标准1，选件31 | 标准1，选件31 |
MiniSIMS一个主要的特征是对表面的局部区域进行原位分析（静态SIMS）。仅需数秒（而非数分钟），扫描聚焦探测光束（成像SIMS）生成一个表面成分图。随后的分析通过顺序的刻蚀表面而显示表层下面变化的组成（动态SIMS）。所有这些可在只需少量或不需任何样品制备的情况下操作成功，并且灵敏度高，分析时间最少。
MiniSIMS另外一个主要特征是其对操作人员的要求-----实验室技术人员，不需要专业的技术人员进行维护和管理。
应用范围及优势：
单层表面信息
全元素检测
有机物质鉴定
高灵敏度分析
快速成分影像
薄膜纵切片
台式设计、移动便捷
经济实用、操作简单
